1.1分析范围主要针对业主提供的工艺图纸、会议上的工艺描述及现场查看情况等有关资料进行分析,主要包括如下单元:氯气、硅烷、氨气、三甲基铝特气房,输送管道,气体阀门箱,缓冲罐,使用机台(反应腔)等。...