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1.1 分析范围
主要针对业主提供的工艺图纸、会议上的工艺描述及现场查看情况等有关资料进行分析，主要包括如下单元：氯气、硅烷、氨气、三甲基铝特气房，输送管道，气体阀门箱，缓冲罐，使用机台（反应腔）等。
氯气、硅烷、氨气、TMA特气使用项目 危险与可操作性分析（HAZOP）报告
1068人参与 ｜分类: 现状评价｜时间: 2022年01月12日
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